半導体パラメーターアナライザー（デバイスアナライザー）は、電流電圧（IV）および静電容量測定（CV（静電容量電圧）、C-f（静電容量周波数）、およびC- t（静電容量-時間））測定を正確に行い、それらの分析を半導体パラメトリックテスト用のボックス内ですばやく簡単に行います。半導体パラメトリックテストは、半導体デバイスとその製造プロセスの特性を決定するための基本的な測定です。パラメトリックテストでは、通常、fA（フェムトアンペア）までの低電流測定を含むIV測定と、最大 1 MHzまでのCV測定が実行され、主要な特性/パラメーターが分析されます。半導体パラメーターアナライザーは元々これらの半導体評価を実行するように設計されていますが、その優れた性能、強力な機能、および使いやすさにより、現在さまざまな材料、デバイス、および電子機器のIVおよびCV特性評価に広く使用されています。
半導体パラメータアナライザを使用する利点
半導体パラメータアナライザは、特性評価タスクのパフォーマンス、使いやすさ、効率を向上させます。パラメータアナライザは複数の測定リソースを1つのボックスに統合し、電源、電圧計、電流計、LCRメーター、スイッチングマトリックスなどの複数の機器を収集および統合することなく、IVおよびCV測定を簡単に可能にします。パラメータアナライザは、ソース/メジャーユニット（SMU）です。 SMUは、電圧/電流源と電圧/電流計の機能を1つのモジュールに組み合わせた測定モジュールです。ソースと測定回路は密接に統合されているため、さまざまな独立した機器を使用して同じ測定を行うよりもはるかに優れた精度と高い分解能を、測定誤差の少ない状態で実現できます。
さらに、パラメータアナライザは分析機能を備えており、外部PCを使用せずに、画面上でインタラクティブに測定結果をすばやく確認して分析できます。半導体パラメータアナライザの汎用性は、探索的分析から自動テストまで、さまざまな測定状況に使用できます。
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| IV特性をすばやく取得 | 簡略化されたSMU回路図 |
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