■B1517A(X4)-4つのHRSMU-最大100V、100mAの力、1fAの電流分解能
■B1520A-MFCMU-1kHz〜5MHz、SMU GET QUg-12による最大100V DCバイアス
■B1517A(X4)-4つのHRSMU-最大100V、100mAの力、1fAの電流分解能
■B1530A-WGFMU-最小100nsのパルス幅、10Vのピークツーピーク出力、5nsの電流または電圧測定サンプリング速度ET QUOTE
Product Overview
Keysight B1500A(Agilent)半導体デバイスアナライザーは、10スロット構成のモジュール式計測器で、IVとCVの両方の測定と高速高電圧パルシングをサポートしています。使い慣れたMicrosoft®Windows®ユーザーインターフェイスは、AgilentのEasyEXPERTソフトウェアをサポートします。これは、デバイスの特性評価に対して、より直感的な新しいタスク指向のアプローチを提供します。 Keysight B1500A(Agilent)は、極めて低い電流、低電圧、および統合された静電容量測定機能により、幅広い半導体デバイスの特性評価のニーズに対応できます(IC-CAPはB1500Aをサポートしています)。また、不揮発性メモリセルの特性評価および高速デバイスの特性評価(高度なNBTI測定を含む)のための優れたソリューションでもあります。
の機能と利点:
●優れたIV測定性能:0.1 fA / 0.5 µVの測定分解能
●測定機能には、HV-SPGUのシングルおよびマルチチャネルスイープ、時間サンプリング、リストスイープ、準静的CV(SMUを使用)、直接制御、および任意線形波形生成(ALWG)GUIが含まれます。
●オプションの内蔵静電容量モジュールは、最大5 MHzのCV測定をサポート
●オプションのポジショナーベースのCV-IVスイッチングソリューションは、0.5 µVの電圧測定分解能と10 fA、1 fAまたは0.1 fAの電流測定分解能で利用可能
●組み込みの半自動ウェハープローバードライバーによる簡単なテスト自動化とクイックテストモードによるプログラミングなしのテストシーケンス
●オプションの高電圧半導体パルスジェネレーターユニット(HV-SPGU)は、10 nsのプログラム可能なパルス幅と+ /-40 V(80 Vピークツーピーク)出力で利用できます。
●ALWGおよび高速電流または電圧測定機能で利用可能なオプションの波形発生器/高速測定ユニット(WGFMU)。
●10 nsパルスIVソリューションは、High-kゲート誘電体およびSOI(シリコンオンインシュレーター)トランジスタの特性評価に利用できます。
●Microsoft®Windows®GUI機能を最大限に活用してユーザーインタラクションを強化しながら、4155/4156インターフェイスのルックアンドフィールおよび用語を提供するクラシックテストモードが利用可能です。
主な仕様:
●一般的な特徴
●Windows®XP Professional OSを搭載したPCベースの機器
●電流-電圧(IV)、静電容量-電圧(CV)、パルス生成、高速IV、および時間領域測定用のシングルボックスソリューション。
●ソースモニターユニット(SMU)およびその他のモジュールタイプ(MFCMU、HV-SPGU、WGFMU)用の10個のモジュールスロット*
●デスクトップEasyEXPERTソフトウェアによるオフラインデータ分析とアプリケーションテスト開発
●測定能力
■0.1fAおよび0.5µVまでの電流-電圧(IV)測定をサポート
■準静的および中周波静電容量-電圧(CV)測定の両方をサポート]
■パルスドIV、NBTI、RTS測定などの幅広いアプリケーションで正確な高速IVおよび時間領域測定をサポートします。
■高電圧およびメモリデバイステスト用の高電圧パルス生成(最大±40 V)をサポートします。
モジュール選択ガイド:
| モジュールメイン | スロット | 仕様 |
B1510A HPSMU | 2 | 最大200V、1Aの力。 10fAの現在の解像度 |
B1511A MPSMU | 1 | 最大100V、100mAの力、10fAの電流分解能 |
B1517A HRSMU | 1 | 最大100V、100mAの力、1fAの電流分解能 |
E5288A ASU | NA | 最大100V、100mAの力、100aAの電流分解能 |
B1520A MFCMU | 1 | 1kHz〜5MHz、SMUで最大100VのDCバイアス |
B1525A HV-SPGU | 1 | 最小12.5nsのパルス幅、10nsの遷移時間、3レベルのpuで最大40V |
B1530A WGFMU | 1 | 最小100nsのパルス幅、10Vのピークツーピーク出力、5nsの電流または電圧測定のサンプリング速度 |
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