製品概要
アジレント / キーサイト E5270B
アジレントE5270B 8スロットパラメトリック測定メインフレームは、完全にユーザー設定可能です。最大 8 つのシングルスロット モジュール(E5281B MPSMU など)、最大 4 つのデュアルスロット モジュール(E5280B HPSMU など)、または物理的に許容できる組み合わせをインストールできます。
Keysight E5270B精密IVの検光子は材料および装置の広い範囲の現在の電圧特徴付けのための完全な解決である。E5270Bは、電圧/電流のソーシングと電圧/電流測定に複数のSM(ソース/モニタユニット)をサポートし、クラスの電流測定性能は1nAと低い。そのモジュラーアーキテクチャにより、利用可能な8つのスロットに対してSMUモジュールを設定またはアップグレードできます。EasyEXPERTグループ+GUIベースの特性評価ソフトウェアは、測定のセットアップからデータ分析まで、特性評価に必要なすべてのタスクをサポートするために、PC上で提供され、利用可能です。SMUの多用途計測機能とGUIベースの特性評価ソフトウェアを強力に統合することで、E5270Bは、デバイス、材料、半導体、アクティブ/パッシブ部品、または他のあらゆるタイプの電子機器の特性評価に最適なソリューションとなり、妥協のない測定信頼性と効率を実現します。
Keysight E5270Bパラメトリック測定システムの特徴は次のとおりです。
●高速、DCパラメトリック測定を行う
●プラグインモジュール用8スロット
●ユーザインタフェースにより、フロントパネルからスポット測定が可能
● インストールされているすべてのモジュールで使用できる、高解像度のアナログ・デジタル・コンバータ(ADC)
●インストール済みの各SMUに高速ADCが存在
●4アンプアースユニット
●BNCトリガインコネクタとトリガアウトコネクタ
●16の汎用デジタルI/O
●プログラムメモリ
●計測器制御用GPIBポート
●セルフテスト、セルフキャリブレーション、診断
電流電圧測定機能
●正確で精密な測定範囲は0.1 fA – 1Aおよび0.5 μV - 200 V
●スポットおよびスイープ測定機能
●最小500 μsパルス幅のパルススポットとスイープ測定
●ASU(アットセンスおよびスイッチユニット)は、0.1 fA測定分解能とSMU/AUXパススイッチングを提供するためにHRSMUと使用することができます
サポートされる測定モードは次のとおりです。
●スポット
●パルススポット
●準パルススポット
●階段スイープ
●マルチチャンネルスイープ
●パルススイープ
●パルスバイアスを伴う階段スイープ
●リニアサーチ
●バイナリ検索
アジレントE5270Bの仕様は次のとおりです。
●測定範囲:
o E5280B:-200 V~200 V、-1 A~1Aと分解能:2μV、10 fA
o E5281A:-100 V~100 V、-100 mA~100 mA、解像度:0.5 μV、10 fA
●最大出力電力:80W
●地上電圧に共通する最大電圧は≤42 Vでなければなりません
oパルス測定
oパルス幅:500μs~2 s
oパルス期間:5ミリ秒から5秒
o期間 ≥幅 + 2 ミリ秒 (幅 ≤100 ミリ秒の場合)
o期間 ≥幅 + 10 ミリ秒 (幅 >100 ミリ秒の場合) パルス解像度: 100 μs
●GNDU:E5270Bメインフレームを備えたグランドユニット
●出力電圧:0 V ±100 mV
●最大シンク電流:4 A
●出力端子/接続:三軸コネクタ、ケルビン(リモートセンシング)
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